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為了減少環境污染、打造綠色經濟，高效地利用電力變得越來越重要。電力電子設備是實現這一目標的關鍵技術，已被廣泛用于風力發電、混合動力汽車、LED 照明等領域。這也對電子器件中的散熱基板提出了更高的要求，傳統的陶瓷基板如 AlN、Al2O3、BeO 等的缺點也日益突出，如較低的理論熱導率和較差的力學性能等，嚴重阻礙了其發展。相比于傳統陶瓷基板材料，氮化硅陶瓷由于其優異的理論熱導率和良好的力學性能而逐漸成為電子器件的主要散熱材料。

其中，華海清科主營產品為化學機械拋光（CMP）設備，其原擬募集資金 11.54 億元，最終超募金額高達 24.90 億元，超過擬募集資金兩倍。頭頂 " 半導體清洗設備平臺型龍頭 " 光環的盛美上海，以及聚焦半導體薄膜沉積設備的拓荊科技